低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

优点

1、放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。

2、 反应快，不受气速限制。

3、 采用防腐蚀材料。

4、 只需用电，操作极为简单。 

5、 设备启动、停止十分迅速，随用随开，常温常压下即能使用。

6、 气阻小，适用于大风量的废气处理。